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Geschliffene und polierte Aluminiumnitrid-Substrate

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Aluminiumnitrid-Keramikplatte

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INNOVACERA liefert geschliffene, geläppte und polierte Aluminiumnitrid (AlN)-Substrate für Dünnschichtschaltungen, Laserdioden-Submounts, die Photonik und die Präzisionsmetallisierung. Die von uns angebotene Wärmeleitfähigkeit beträgt 170, 200 und 230 W/m·K, bei Mastergrößen von bis zu 138 × 190 mm. Für Anwendungen, die eine feine Oberfläche erfordern, ist eine Präzisionspolitur bis zu Ra ≤ 0,05 μm verfügbar, wobei kundenspezifische Abmessungen, Dicken und Schlitze möglich sind.

Die Oberflächenbeschaffenheit der AlN-Substrate kann entsprechend dem nachgelagerten Prozess ausgewählt werden. INNOVACERA bietet Schleifen, Feinschleifen, Polieren und Präzisionspolieren sowie kundenspezifische Dicken, Abmessungen und Bearbeitungsmerkmale für unterschiedliche Anwendungsanforderungen an.

Ebenheit, Verzug und TTV
Ebenheit und TTV werden entsprechend der Substratgröße, -dicke und Messmethode spezifiziert. Für Präzisionsanwendungen können die Anforderungen anhand der Kundenzeichnung und eines definierten Prüfbereichs bewertet werden. Ein Verzug von unter 0,3 % ist bei bestimmten Produktionskonfigurationen möglich.

Oberflächenrauheit
Das Schleifen erfolgt mit Ra 0,3–0,6 μm. Das Feinläppen mit 0,1–0,4. Beim Polieren wird ein Wert unter 0,10 erreicht, beim Präzisionspolieren 0,05 und darunter. Ein Substrat, das lediglich Wärme ableiten muss, ist nach dem Schleifen ausreichend. Das Schleifen eines LD-Submounts oder einer Dünnschichtschaltung reicht nicht aus, da beim nächsten Schritt – sei es Abscheidung, Lithografie oder Die-Attach – mehr als nur die Oberfläche eine Rolle spielt. AlN-Substrate für die Dünnschichtverarbeitung, DPC und Präzisionsmetallisierung erfordern in der Regel eine geläppte oder polierte Oberfläche vor der anschließenden kundenseitigen Weiterverarbeitung.

Prüfung
Die Prüfung kann Maße, Dicke, Rauheit, Verzug, Ebenheit und Kantenqualität umfassen. Dichte, Wärmeleitfähigkeit und andere Materialeigenschaften können entsprechend den Projektanforderungen überprüft werden. Bei Bedarf stehen Prüfberichte für Produktionsprogramme zur Verfügung.