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CDS Chemieversorgungsgeräte Durchflusssensor --- Serie CPD

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Chemikaliendurchflusssystem Messung der Durchflussmenge

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Hintergrund der Anwendung
Der CDS-Chemikalienversorgungsschrank (Chemical Delivery System) wird für die zentrale Versorgung und Verteilung von hochreinen Chemikalien verwendet und spielt eine wichtige Rolle in mehreren Stufen automatisierter Prozesse. Zu den transportierten Flüssigkeiten gehören Fotolacke, Aufschlämmungen, starke Säuren (wie H₂SO₄, HF), starke Laugen (wie KOH, NH₄OH) und organische Lösungsmittel (wie IPA, PGMEA).
Diese Chemikalien werden über Rohrleitungen präzise zu den Nassprozessanlagen transportiert. CDS-Anlagen verwenden in der Regel "eine aktive und eine Reserve"-Versorgungsschränke, Pumpen, Filter und Durchflusssensoren/Durchflussmesser, um eine automatische Dosierung, konstanten Druck und konstanten Durchfluss sowie ein Null-Kontaminationsrisiko zu erreichen.
Der Clamp-On-Ultraschall-Durchflusssensor/Durchflussmesser CPD von XY-TEK kann als nicht-invasives Instrument zur Messung der Durchflussrate nahtlos in die Zirkulationsleitungen von CDS-Schränken integriert werden und ermöglicht die Durchflussmessung in Echtzeit und unterstützt die digitale Regelung des gesamten Prozesses. Der CPD-Ultraschall-Durchflusssensor/Durchflussmesser verwendet korrosionsbeständige Gehäusematerialien, hat eine kompakte Größe und eignet sich für die Installation in platzbeschränkten Umgebungen für chemische Liefergeräte.
Herausforderungen bei der CDS-Durchflussmessung
CDS-Chemieversorgungsschränke stehen bei hochpräzisen Prozessen vor zahlreichen Herausforderungen, die sich auf die Produktionseffizienz, die Sicherheit und die Kostenkontrolle auswirken.
1. Korrosive Medien wie HF, H₂SO₄ und KOH führen dazu, dass herkömmliche Durchflussmesser aus Metall innerhalb weniger Monate korrodieren und undicht werden, was zu einer Verunreinigung der Chemikalien und zu folgenden Problemen führt
2. Viskose chemische Flüssigkeiten wie Klebstoffe haben eine Viskosität von mehr als 1000 cP, was zu Verstopfungen der Durchflussmesserrohre und damit zu ungenauen Durchflussmessungen führen kann.
3. Metallionen aus Durchflussmessern können die hochreinen Chemikalien verunreinigen.
4. Demontagearbeiten bei der Installation und Wartung von Inline-Durchflussmessern erhöhen das Risiko einer Verunreinigung der Schläuche.
5. Die dichte interne Verrohrung in Versorgungsschränken lässt nur sehr wenig Platz für Durchflusssensoren.
6. Durchflussmesser, die lange gerade Rohrabschnitte benötigen, sind in komplexen Rohrleitungslayouts schwer unterzubringen.
7. Fortschrittliche Prozesse erfordern eine Durchflussregelungsgenauigkeit von ±2 %, die einige Durchflussmessgeräte nur schwer erreichen können.
8. Instabile Messungen in niedrigen Durchflussbereichen (<1 L/min) beeinträchtigen die Genauigkeit der chemischen Dosierung.
CPD Clamp-On-Ultraschall-Durchflusssensor / Durchflussmesser Merkmale
- Nicht-invasive Durchflussmessung, die Korrosions- und Verschmutzungsprobleme vollständig beseitigt
- CPD Clamp-On-Durchflusssensoren/Durchflussmesser werden außen an den Schläuchen installiert, völlig isoliert von korrosiven Chemikalien, ohne bewegliche Teile und ohne Kontaminationsrisiko.
- Geeignet für die Messung verschiedener viskoser Flüssigkeiten
- Kann von außen auf verschiedene starre Rohrmaterialien wie PFA, PTFE und PP geklemmt werden.
- Leicht und kompakt, flexible Installation, Anpassung an die internen Platzverhältnisse der Anlage
- Das Clamp-On-Design erfordert kein Schneiden der Schläuche; die Installation kann in wenigen Minuten abgeschlossen werden.
- Geringer Bedarf an geraden Schläuchen (5D stromaufwärts, 3D stromabwärts), einfache Installation auch bei komplexen Rohrleitungslayouts.
- Messgenauigkeit der Durchflussmenge von 2 %, Wiederholbarkeit bis zu ±0,1 % und Reaktionsgeschwindigkeit im Millisekundenbereich.
- Eingebaute Blasenerkennungsfunktion und Unterstützung der bidirektionalen Durchflussmessung.
CDS-Chemieversorgungskabinett-Durchflussmessungs-Szenarien
1. Versorgungssystem für Klebstoffflüssigkeit
Klebstoffflüssigkeiten haben eine hohe Viskosität; bei einigen Durchflussmessern mit beweglichen Teilen kann es bei der Messung von Klebstoffflüssigkeiten zu Messfehlern kommen, die zu einer Überdosierung oder unzureichenden Versorgung führen.
Lösung:
Installieren Sie CPD-Clamp-On-Ultraschall-Durchflusssensoren/Durchflussmesser an den Hauptversorgungsleitungen, um den gesamten Versorgungsdurchfluss in Echtzeit zu überwachen.
Installieren Sie CPD-Clamp-On-Ultraschall-Durchflusssensoren/-Durchflussmesser an Unterabzweigleitungen, um den Durchfluss, der auf die einzelnen Abzweige verteilt wird, präzise zu steuern.
2. CMP-Slurry-Verteilungssystem
CMP-Schlämme enthalten feste Partikel, die die Durchflussmesser mit beweglichen Teilen beschädigen können und eine ungleichmäßige Schlammverteilung verursachen.
Lösung:
Installieren Sie CPD-Clamp-On-Durchflusssensoren/Durchflussmesser sowohl an den Hauptverteilungsrohren als auch an den Abzweigleitungen, um die Durchflussmenge genau zu messen.
Die SPS passt die Ventilöffnungen auf der Grundlage der Rückmeldung von Echtzeit-Durchflussmessdaten an.
3. Zufuhrsystem für hochreine Flüssigkeiten
Hochreine Flüssigkeiten können durch Inline-Durchflusssensoren/Durchflussmesser verunreinigt werden.
Lösung:
An der Außenseite des Schlauchs angeklemmt, kein Kontakt mit der Flüssigkeit, kein Kontaminationsrisiko.
Mean Time Between Failures (MTBF) > 50.000 Stunden, lange Lebensdauer, geringe Wartungsfrequenz und -anforderungen.
Kundennutzen
- Unterstützt die Messung verschiedener Flüssigkeiten: Löst die Herausforderungen der Durchflussmessung bei hochviskosen, stark korrosiven Chemikalien.
- Einfache Wartung: Wartungsfreies Design, keine häufige Reinigung oder Kalibrierung erforderlich.
- Einfache Installation: Kein Schneiden der Rohre erforderlich, schnelle Installation innerhalb weniger Minuten, ohne Beeinträchtigung von Produktion und Betrieb.
- Schnelle Installation: Das Clamp-On-Design ermöglicht die Installation des Durchflusssensors in nur wenigen Minuten.
- Kein Leckagerisiko: Die nicht-invasive Durchflussmessung eliminiert das Risiko des Auslaufens von Chemikalien.
- Verbesserte Regelgenauigkeit: Hochpräzise Durchflussdaten in Echtzeit unterstützen eine schnelle Steuerung im geschlossenen Regelkreis.
- Prozess-Optimierung: Durchflussdaten bilden die Grundlage für eine vorausschauende Wartung und Prozessoptimierung.
- Vollständige Rückverfolgbarkeit der Daten: Zeichnet detaillierte Daten für jeden chemischen Versorgungskanal auf und unterstützt die Rückverfolgbarkeit der Qualität.
- Alarme bei Anomalien: Automatische Warnungen bei abnormalen Schwankungen der Durchflussrate.

{{medias[227196].title}}

{{medias[227196].description}}