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Die turbulente Geschichte der interferometrischen Methoden zur Präzisionspositionierung

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Fortschritte bei der Präzisionspositionierung im Laufe der Zeit

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Seit den ersten Entwicklungen vor 150 Jahren haben Fortschritte bei den Lichtquellen, der Optik und der Datenverarbeitung die Interferometrie als unverzichtbares Werkzeug für die Messung von Entfernung, Weg und Winkel fest etabliert. Während man vernünftigerweise argumentieren kann, dass die ständig steigenden Anforderungen an die Präzision die Fortschritte bei der interferometrischen Positionierung vorangetrieben haben, verfolgen wir hier den Weg zum aktuellen Stand der Technik mit Blick auf eine andere treibende Kraft: das Vorhandensein von Luft in den Strahlengängen und die Innovationen, die erforderlich sind, um mit Brechungsindexänderungen und Luftturbulenzen umzugehen.