Veröffentlicht am 01.09.2021
Neue IR-optische Messtechnik zur Analyse der Bauteildynamik Si-verkappter Mikrostrukturen
Eine umfassende Charakterisierung der Bauteildynamik sowie der mechanischen Eigenschaften von Mikrostrukturen ist sowohl für Design und Entwicklung, die Fehlersuche und die FEM-Validierung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) von entscheidender Bedeutung. Die MSA Micro System Analyzer Serie von Polytec bietet schnelle, genaue und berührungslose, optische Testlösu...