Entfesseln Sie die Kraft der Conprofe Ultraschall-Hybridlösungen, die auf der SEMI-e 2024 in Shenzhen präsentiert werden!

SEMI-e 2024 in Shenzhen!

Vom 26. bis 28. Juni fand im Shenzhen International Exhibition & Convention Center (Bao'an District) die SEMI-e 2024 (The 6th Shenzhen International Semiconductor Exhibition) statt. Conprofe präsentierte seine selbst entwickelten Produkte und Conprofe Solutions @ SEMI-e.

Conprofe-Ultraschall-CNC-Werkzeugmaschinen, Ultraschalltechnologie, superharte Schneidwerkzeuge, Präzisionswerkzeughalter, Präzisionsteile und andere Spitzenprodukte wurden vorgestellt, um die Bedürfnisse der Kunden umfassend zu erfüllen und die Halbleiterindustrie bei der Verbesserung von Qualität und Effizienz zu unterstützen.

Die Anforderungen an die Oberflächenqualität der Werkstücke und die Genauigkeit im Nanometerbereich, die wir bei der Bearbeitung von Halbleiterteilen erreichen sollen, sind hoch. Die üblicherweise verwendeten Halbleitermaterialien sind einkristallines Silizium, Polysilizium, Siliziumkarbid, Quarzglas, Keramik, AISiC und andere hart-spröde Materialien. Sie sind im Allgemeinen anfällig für Bearbeitungsprobleme wie Späne, kurze Werkzeugstandzeiten und geringe Effizienz.

Angesichts dieser Probleme integriert Conprofe selbst entwickelte CNC-Ultraschall-Werkzeugmaschinen, Ultraschall-Bearbeitungstechnologie und massive PKD-Schneidwerkzeuge, um eine professionelle Hybridlösung für Kunden in der Halbleiterindustrie zu entwickeln, die die Schwierigkeiten beim Bohren von hart-spröden Mikro- und Tieflöchern effektiv löst. Dank der Conprofe-Lösung verkürzen wir schließlich die Zykluszeit, optimieren die Werkstückqualität, verbessern die Produktausbeute und erreichen eine kontinuierlich stabile Bearbeitung.

Bohren von Duschköpfen aus einkristallinem Silizium

Einkristallines Silizium, ein hart-sprödes Material, ist bei der Bearbeitung anfällig für Ausbrüche und Risse, und das erforderliche Verhältnis von Bohrungstiefe zu Durchmesser beträgt bis zu 55:1. Conprofe kombiniert das Ultraschall-Präzisionsgravur- und Fräsbearbeitungszentrum ULM-500 mit der Ultraschall-Bearbeitungstechnologie und dem PKD-Mikrobohrer, was zu über 2.000 ultratiefen Mikrobohrungen von D0,45x24,75 mm mit einem Tiefen-Durchmesser-Verhältnis von 55:1 führt. Es gibt auch keine Risse und Ausbrüche an den Lochkanten bei der Bearbeitung von Sacklöchern; die Rundheit des Lochs kann bis zu 0,003 mm betragen; die Rauheit der Lochwand kann um 99,8 % von Sa 6,54 µm auf Sa 0,013 µm verringert werden.

Bearbeitung von geschlitzten Umschließungsringen aus Polysilizium

Heutzutage werden Polysiliziumteile häufig für die Bearbeitung von Chips verwendet. Aufgrund des großen Materialabtrags in vielen Verfahren und der relativ strengen Anforderungen an die Oberflächenqualität und Toleranz des Werkstücks müssen die Hersteller ein hohes Niveau erreichen.

Nehmen wir als Beispiel die Bearbeitung von geschlitzten Ringen aus Polysilizium. Wenn wir das Werkstück mit der herkömmlichen Methode bearbeiten, kommt es zu einer geringen Effizienz und zu Rissen in der Nut, was zu einer hohen Ausschussrate führt.

Mit dem Ultraschall-Präzisionsgravur- und Fräsbearbeitungszentrum ULM-600, der Ultraschall-Bearbeitungstechnologie und dem vertikalen DDR-Hochgeschwindigkeits-Drehtisch löst Conprofe erfolgreich die Bearbeitungsprobleme der Kunden. Sie sind mit den Ergebnissen der ultraschallunterstützten Bearbeitung zufrieden, wie z. B. stabilere Leistung, geringere Schnittkraft, höhere Effizienz, bessere Oberflächenrauhigkeit des Werkstücks, weniger Risse und Späne und bessere Rundheit.

WIR SEHEN UNS AUF DER NÄCHSTEN MESSE!