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THM50X Temperatur- und Feuchtemessumformer｜ Absolute Feuchtemessung und 0,1%RH Ultra-Low-Feuchtigkeitserfassung für Halbleiterprozesse

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THM50X Temperatur- und Feuchtemessumformer｜ Absolute Feuchtemessung und 0,1%RH Ultra-Low-Feuchtigkeitserfassung für Halbleiterprozesse

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Für Halbleiterprozesse gelten extrem strenge Feuchtigkeitsanforderungen. In Phasen wie der Trocknung nach der Reinigung, vor dem Verpacken, in Inertgas-Spülbereichen, bei der Lagerung feuchtigkeitsempfindlicher Materialien und in kritischen Umgebungskontrollzonen können selbst geringe Schwankungen der Umgebungsfeuchte die Ausbeute beeinträchtigen. Verlässt man sich ausschließlich auf die relative Luftfeuchtigkeit, kann es aufgrund von Temperaturschwankungen leicht zu Fehleinschätzungen kommen, so dass es schwierig ist, festzustellen, ob der Trocknungsprozess wirklich abgeschlossen ist. Daher ist die absolute Luftfeuchtigkeit, die direkt den tatsächlichen Wasserdampfgehalt der Luft angibt, eine zuverlässigere Grundlage für die Beurteilung. Neben der Halbleiterindustrie benötigen auch Prozesse mit niedriger Luftfeuchtigkeit in der Biotechnologie und Pharmazie, die Trocknung und Alterung von Lebensmitteln, chemische Prozesse bei hohen Temperaturen, Laboratorien und Prüfkammern präzise, stabile und schnell reagierende Temperatur- und Feuchtigkeitsmessgeräte.

Der Temperatur- und Feuchtetransmitter THM50X misst direkt die absolute Feuchte und liefert gleichzeitig die Temperatur, die relative Feuchte und den Taupunkt sowie verschiedene andere feuchtebezogene Parameter. So können Ingenieure nicht nur den %RH-Wert sehen, sondern auch verstehen, "wie viel Wasser tatsächlich in der Umgebung vorhanden ist" In Kombination mit der extrem niedrigen Feuchteauflösung von 0,1 %RH, der hochtemperaturbeständigen Sonde und der Multiparameteranzeige können Anwender auch unter komplexeren und anspruchsvolleren Prozessbedingungen eine genaue Interpretation beibehalten und so Produktqualität und Prozessstabilität gewährleisten.