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Hitachi High-Tech Analytical Science bringt neuen FT160 XRF-Beschichtungsanalysator auf den Markt

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Der neue RFA-Analysator FT160 mit drei Basiskonfigurationsoptionen für die Analyse von Beschichtungen im Nanometerbereich.

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Nach der Einführung der neuen FT160-Serie in Japan vertreibt und wartet Hitachi High-Tech Analytical Science nun die Beschichtungsanalysatoren der FT160-Serie in China, Nordamerika, Europa, dem Nahen Osten und Afrika. Diese neueste Generation von Hitachi-Beschichtungsanalysatoren wurde entwickelt, um die Herausforderungen bei der Messung ultradünner Beschichtungen auf kleinen Objekten zu bewältigen. Das FT160 ist ein EDXRF (energiedispersive Röntgenfluoreszenz)-Tischgerät mit leistungsstarker Software und Hardware, das für einen hohen Probendurchsatz mit qualitativ hochwertigen Ergebnissen für jeden Anwender entwickelt wurde. Die Serie FT160 wurde entwickelt, um eine Schlüsselrolle bei der Qualitätskontrolle in der Produktion zu spielen und misst ein breites Spektrum von Anwendungen in den Märkten für Halbleiter, Leiterplatten und elektronische Komponenten.

Messen von Beschichtungen im nm-Bereich

Das FT160 verfügt über High-End-Komponenten, die die ultimative Analyse ultradünner Beschichtungen auf feinen Strukturen ermöglichen. Eine Polykapillar-Optik fokussiert den Röntgenstrahl auf einen Durchmesser von <20 µm, wodurch die Probe intensiver fokussiert und die Merkmale kleiner als bei der herkömmlichen Kollimation gemessen werden können. Ein hochempfindlicher, hochauflösender Hitachi High-Tech-Silizium-Drift-Detektor (SDD) nutzt die Vorteile der Optik voll aus, um Beschichtungen im nm-Bereich auf Mikroelektronik und Halbleitern zu messen. Ein Hochpräzisionstisch und eine hochauflösende Kamera mit Digitalzoom ermöglichen eine schnelle Positionierung der Probenmerkmale zur Verbesserung des Probendurchsatzes.

Matt Kreiner, Produktmanager bei Hitachi High-Tech Analytical Science, sagte: "Die FT160 baut auf dem Erfolg ihrer Vorgänger auf und bietet eine neu gestaltete Lichtanordnung für eine bessere Sichtbarkeit und Positionierung der Teile, neue Konfigurationsoptionen zur Gewährleistung einer optimierten Leistung für bestimmte Anwendungen und einen neuen kompakten Grundkonfigurationsfaktor für stark ausgelastete Testlabors. Die kontinuierliche Weiterentwicklung der Hardware und der Analysefähigkeiten dieser Produktlinie macht es unseren Kunden leichter denn je, die Produktion in der sich schnell entwickelnden Mikroelektronik-Landschaft zu kontrollieren. Das FT160 ergänzt unsere umfassende Palette an Beschichtungsinstrumenten, die das Ergebnis von über 45 Jahren Erfahrung in der Entwicklung von RFA-Beschichtungsanalysatoren ist