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Kompakter XY+Drehtisch

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Kompakte Präzisions-XY-Tische

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XY-Drehtische mit Linearmotoren und Motoren mit direktem Drehmoment, die mit einem niedrigen Profil für die Handhabung von Wafern und viele andere automatisierte, genaue Positionierungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Der Linearmotorantrieb mit XY-Antrieb ermöglicht eine XY-Positionierung im Submikrometerbereich, und der direkt angetriebene Drehtisch gewährleistet eine Leistung im Subarc-Sekundenbereich.