Park SmartLitho – Ein neuartiger Ansatz für die Nanostrukturierung mittels AFM-Lithographie

Neuartige Nanolithographie-Software von Park Systems für die Lithographie auf ferroelektrischen Proben.

In diesem Anwendungshinweis erfahren Sie mehr über die Fähigkeiten von #SmartLitho, einer neuartigen Nanolithographie-Software von Park Systems für die Lithographie auf ferroelektrischen Proben durch Strukturieren lokaler Domänen eines PZT-Films (Blei-Zirkonium-Titanat) auf Siliziumwafern. Die Studie zeigt, dass die Nanostrukturierung durch AFM-Nanolithographie, insbesondere die Oxidationsstrukturierung auf Siliziumsubstraten und Park SmartLitho, ein erhebliches Potenzial für die kundenspezifische Oberflächenmodifikation von Nanosensoren sowie für Nanogeräte für die Halbleiterforschung und -industrie bietet.