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#Produkttrends
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Stepper liefert erhöhte Produktivität, verbesserte Unterstützung für FOWLP
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Canons FPA-5520iV ich-spuriges Stepper folgt dem FPA-5510iV, das im Juli 2011 gestartet wurde, und wird für seine hohe Auflösung und Überlagerungsgenauigkeit erkannt.
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Das FPA-5520iV Lithographiewerkzeug bietet verbesserter Fan-heraus Oblate waagerecht ausgerichtete Funktionalität 2 des Pakets (FOWLP) an und ist entworfen, Benutzern zu helfen, ihre Produktivität zu erhöhen. FOWLP-Technologie wird als eine zukünftige Verpackungstechnik, die der Herstellung des dünneren Systems in den Modulen des Pakets (Schlückchen) ermöglicht, die verschiedene Halbleiterchips mit unterschiedlichen Funktionen, wie Prozessoren und Gedächtnis kombinieren, und wird, um erwartet die Realisierung von hoch-Integration-stufigem, Verdünnerpakethalbleiterbauelemente mit Niedrigproduktionskosten zu stützen angesehen.
