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Servomex-Analysatoren für die einzigartige NH3-Spurenmessung in der Halbleiterindustrie

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Einzigartige NH3-Spurenmessung

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Bei der Umweltüberwachung und -prüfung in einem europäischen Halbleiterwerk wurde festgestellt, dass sich Ammoniak in den Auslässen des Ammoniak-Reduktionssystems befindet, was zu potenziellen Gesundheits- und Umweltrisiken führen könnte.

Der SERVOTOUGH Laser 3 Plus Environmental Ammonia wird typischerweise in DeNOx- und Emissionsmessanwendungen eingesetzt. Er wurde in dieser Anwendung getestet, die für laserbasierte Messlösungen sehr neu ist und ein hohes Maß an Messempfindlichkeit und Stabilität erfordert.