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Neues White Paper zur Arc-Behandlung
Das Auftreten von Bogenentladungen „Arcs“ auf den Magnetrons ist ein bekanntes Problem beim reaktiven Sputtern. Dies ist zum einen durch die hohe Leistungsdichte im Magnetron-Plasma und zum anderen durch die Beschaffenheit der Kathodenoberfläche bedingt.
Um eine gute Schichtqualität zu gewährleisten, hat der eingesetzte Plasmagenerator die Aufgabe, Arcs zu erkennen und zu löschen. Dies stellt eine große Herausforderung dar, denn der Generator muss den Stromanstieg oder das Zusammenbrechen der Kathodenspannung möglichst frühzeitig und zuverlässig registrieren, die Ausgangsleistung sehr schnell abschalten und auch wieder volle Leistung erreichen.
Die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) ist dieser Aufgabe bestens gewachsen: Ausgestattet mit einem intelligenten Arc-Management erlaubt sie es, Arcs in Echtzeit zu erkennen. Wie die neue Technologie funktioniert und welche Vorteile daraus resultieren, erfahren Sie in unserem White Paper „Arc-Behandlung“. Dieses steht Ihnen unter u.g. Link (Mehr Informationen) zum Download bereit.
