HF-Technologie ohne Kompromisse

Mit dem TruPlasma RF 3012 sind nun keine Kompromisse mehr notwendig: Der neue Hochfrequenzgenerator von HÜTTINGER Elektronik weist einen am Markt einzigartigen Wirkungsgrad von 80 Prozent auf und zeichnet sich zudem durch eine sehr hohe Robustheit und Prozessstabilität aus. Möglich macht dies eine innovative Klasse-D- Konvertertopologie in Verbindung mit einer patentierten Hochfrequenz-Combiner-Technik.

Der TruPlasma RF 3012 bietet eine Ausgangsleistung von 12 Kilowatt bei einer Frequenz von 13,56 Megahertz und eignet sich optimal für PECVD-, Ätz-, und RF-Sputterprozesse in der Flachbildschirm-, Solar- und Halbleiterindustrie. Diese Fertigungsschritte kann der Anwender mit dem TruPlasma RF 3012 deutlich effizienter gestalten und signifikant Kosten einsparen.

Hoher Wirkungsgrad dank innovativer Konvertertopologie

Der TruPlasma RF 3012 ist mit einer innovativen Klasse-D-Konvertertopologie ausgestattet, die einen Wirkungsgrad von 80 Prozent ermöglicht. Im Vergleich zu bisher am Markt erhältlichen Stromversorgungen, die über einen Wirkungsgrad von 60 Prozent verfügen, weist der TruPlasma RF 3012 damit eine um die Hälfte reduzierte Verlustleistung auf. „In einer typischen PECVD-Beschichtungsanlage, in der passive SiNx-Schichten auf waferbasierte Solarzellen aufgebracht werden, läuft ein Generator oft bis zu 22 Stunden am Tag und das an 355 Tagen im Jahr. Bei den aktuellen Strompreisen führt der erhöhte Wirkungsgrad zu einer Kostenersparnis von etwa 3.500 Euro im Jahr pro Stromversorgung“, erläutert Ulrich Ambrosy, Leiter des Produktmanagements bei HÜTTINGER Elektronik. „Besonders bedeutsam ist dieses Einsparpotenzial, wenn man sich vor Augen führt, dass eine solche Anlage oft über mehrere Prozesskammern verfügt, die jeweils mit mehreren Stromversorgungen ausgestattet sind. Die hier zu erzielende Reduktion der Betriebskosten ist erheblich“.

Dank der halbierten Verlustleistung weist der TruPlasma RF 3012 zudem einen verminderten Kühlbedarf auf. Dadurch öffnen sich weitere Einsparpotenziale bei Kühlwasserverbrauch und notwendigen Investitionen in die Infrastruktur. Nicht zuletzt trägt der hohe Wirkungsgrad zur Einhaltung der CO2-Emissions-Ziele in der Produktion bei und leistet damit einen wichtigen Beitrag zum Thema Umweltschutz.