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Elektrische Vakuumstromdurchführungen für Hochleistungsvakuumanwendungen

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Keramik-Metall-Lötdurchführung

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In einer Vakuumumgebung die zentrale Leitung für eine sichere Energieübertragung.

Die Vakuum-Elektrizitätsdurchführung ist eine wichtige Durchgangskomponente, die speziell für Vakuumsysteme entwickelt wurde. Ihre Kernfunktion ist die sichere und zuverlässige Übertragung von elektrischer Energie aus der atmosphärischen Umgebung in das Vakuuminnere unter absoluter Aufrechterhaltung der Vakuumabdichtung der Kavität. Sie ist die unverzichtbare "Energieverbindung", die die externe Energiequelle mit der internen Last der Kavität verbindet.

Dieses Bauteil hat das Kernproblem der stabilen Stromversorgung unter Hochvakuumbedingungen gelöst und ist die Grundlage für den zuverlässigen Betrieb verschiedener Heiz-, Hochspannungs- und Teilchenstrahlprozesse.

Kern der Konstruktion: Abdichtung, Isolierung und Stromtragfähigkeit

Das Design der Vakuumstromdurchführung konzentriert sich auf drei Kernaspekte: Abdichtung, Isolierung und Strombelastbarkeit.

(1) Basierend auf der ausgereiften Keramik-Metall-Löttechnik wird eine atomar dichte Verbindung erreicht, die den Anforderungen von Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen gerecht wird. Sie weist auch eine langfristige Stabilität unter hohen Temperaturen und rauen Arbeitsbedingungen auf.

(2) Robuste mechanische und elektrische Struktur: flansche aus Edelstahl 304/316L, kompatibel mit CF-, KF- und ISO-Standardschnittstellen; Leiter aus sauerstofffreiem Kupfer, Kupfer-Nickel-Legierung oder Kovar-Legierung, optional vergoldet oder vernickelt zur Reduzierung des Kontaktwiderstands. Hochreine Aluminiumoxidkeramik sorgt für zuverlässige Isolierung und thermische Stabilität.

(3) Flexible Konfiguration der elektrischen Leistung: Es unterstützt Konfigurationen, die von Einzelleitern und Doppelleitern bis hin zu Mehrfachleiter-Arrays reichen, und erfüllt die Anforderungen an eine ein- oder mehrkanalige unabhängige Leistungsübertragung. Je nach Anwendung kann es als Hochstrom-, Hochspannungs- oder Verbundleistungstyp klassifiziert werden. Sie können nicht nur Hunderte von Ampere an Hochstrom übertragen, sondern auch Zehntausende von Volt an Hochspannung aushalten und bieten so eine zuverlässige Energieunterstützung für komplexe Vakuumprozesse.