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#Produkttrends
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【Semiconductor Industry Application】Ultraschall-Lochbohrlösungen für hart-spröde Materialien
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Ultraschall-Werkzeugmaschine + Voll-PCD-Bohrer
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Angetrieben durch die rasante Entwicklung der modernen Technologie wächst der Halbleitermarkt mit jedem Tag. Diesem Trend folgend ergreifen China und andere wichtige Länder der Welt bedeutende Schritte zur Steigerung der Halbleiterproduktion und versuchen, die steigende Nachfrage nach Chips mit hohem Mehrwert mit ihren eigenen F&E- und Fertigungskapazitäten zu decken.
Angesichts ihrer Bedeutung in der High-End-Fertigung stellen Halbleiterteile hohe Anforderungen an die Oberflächenqualität der Werkstücke und die Genauigkeit im Nanometerbereich. Da die meisten Komponenten für die Halbleiterfertigung aus hart-spröden Materialien bestehen, sind Ausbrüche, kurze Werkzeugstandzeiten und geringe Effizienz die üblichen Herausforderungen, mit denen die meisten Hersteller konfrontiert sind.
Und genau hier kommen die Ultraschall-Werkzeugmaschinen, PKD-Mikrokantenschneidwerkzeuge und Präzisions-Ultraschall-Werkzeughalter von Conprofe ins Spiel. Unsere zahlreichen erfolgreichen Anwendungsbeispiele und jahrelange Erfahrung belegen die hervorragende Leistung unserer Hybridlösungen, insbesondere beim Bohren von Mikrolöchern. Die Kunden profitieren von kürzeren Zykluszeiten, verbesserter Qualität, höherem Ertrag und stabilerer Produktion.
[Fallbeispiel]
Anwendungen der Conprofe-Lösung für die Ultraschallbearbeitung:
1.Mikrobohrungen für einkristalline Siliziumduschköpfe
Schlüsselwörter: Tiefes Mikro-Lochbohren
Werkstück: Einkristalliner Silizium-Duschkopf
Abmessung der Bohrung: D0.48x18mm (Verhältnis Tiefe/Durchmesser 37.5:1)
Herausforderung:
- Die Anforderungen an die Bearbeitung von tiefen Löchern konnten nicht erfüllt werden
Die Lösung:
Conprofe Ultraschall-Präzisions-Gravier- und Fräszentrum ULM-600
+ Conprofe Solid PCD Mikrobohrer
Vorteile:
✓ Ausbrüche bei Locheingängen＜0,03mm
✓ Positionsgenauigkeit＜0,01mm
✓ Standzeit bis zu 1.000+ Löcher
2.Quarzglas-Duschkopf Mikro-Lochbohren
Schlüsselwörter: Effizientes Sacklochbohren
Werkstück: Quarzglas-Duschkopf der Härte HV700
Abmessungen: D280mm
Anforderungen an die Löcher: Gleichmäßig verteilte D0,5x5,0mm Sacklöcher (Verhältnis Tiefe/Durchmesser 10:1)
Herausforderungen:
-geringe Bearbeitungseffizienz
-Lochkantenausbrüche
Die Lösung:
Conprofe-Ultraschall-Präzisionsfräszentrum UGM-500
+ Conprofe Solid PCD Bohrer
Vorteile:
✓ Kontinuierliche Bearbeitung von 1.200 Löchern (D0,5x5mm, Tiefe-Durchmesser-Verhältnis 10:1）mit
EINEM soliden PKD-Bohrer
✓ Zykluszeit um 72% gesenkt (von 270s auf 75s)
✓ Glatte Lochwand mit 68% weniger Ausbrüchen (von 0,13mm auf 0,13mm)
3. Siliziumkarbid (SiC) Showehead Stufenlochbohren
Schlüsselwörter: Bohren von Mikrolöchern in hart-sprödes Material
Werkstück: Siliziumkarbid-Duschkopf der Härte HV1,800
Abmessungen der Löcher: D0.5x6.5mm/D1x6.5mm
Herausforderungen:
-Hohe Materialhärte und Späneproblem
-Kleiner Lochdurchmesser und hohes Verhältnis von Tiefe zu Durchmesser
-Starke Abhängigkeit von importierten Bearbeitungstechnologien
Die Lösung:
Conprofe-Ultraschall-Präzisionsfräszentrum ULM-500
+ Conprofe Solid PCD-Bohrer
Vorteile:
✓ Kontinuierliche und stabile Bearbeitung von 100 Mikrobohrungen
✓ Ausgezeichnete Lochwandqualität (Ausbrüche＜0,02mm)
4. Einkristallines Silizium-Duschkopf-Lochbohren
Schlüsselwörter: Nacheinander 6.000+ Löcher in hart-sprödes Material bohren
Werkstück: Einkristalliner Silizium-Duschkopf
Abmessungen der Löcher: D0,65X15mm, Verhältnis Tiefe/Durchmesser 23:1
Herausforderungen:
- Problem der Ausbrüche
- Geringe Bearbeitungsgenauigkeit
- Kurze Werkzeugstandzeit
Die Lösung:
Conprofe Ultraschall-Präzisionsfräszentrum ULM-600
+ Conprofe Solid PCD-Bohrer
Vorteile:
✓ Keine Ausbrüche am Lochrand
signifikante Verbesserung der Maß- und Positionsgenauigkeit
✓ Kontinuierliche und stabile Bearbeitung von 1.200 Löchern
✓ Werkzeugstandzeit von mehr als 6.000 Bohrungen
Keine Ausbrüche am Lochrand
5. Aluminiumoxid (Al₂O₃) Duschkopf-Lochbohren
Schlüsselwörter: Bohren von Löchern in hart-sprödem Material
Werkstück: Aluminiumoxid-Duschkopf der Härte HV1,400
Abmessungen: D0.5x3.2mm/D1x5.8mm
Herausforderung:
- Kurze Standzeit
Die Lösung:
Conprofe Ultraschall-Präzisionsfräszentrum ULM-400
+ Conprofe Solid PCD-Bohrer
Vorteile:
✓ Hervorragende Oberflächenqualität und Maßhaltigkeit der Bohrungswand
✓ 34% höhere Werkzeugstandzeit
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