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Additive Fertigung in der Halbleiterindustrie

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Eplus3D Anwendungen in der Halbleiterindustrie

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In den letzten Jahren sind aufgrund der rasanten Entwicklung elektronischer Komponenten und ihrer Anwendungsprodukte die Themen Wärmeverlust und thermische Sicherheit immer stärker in den Vordergrund getreten. Als funktionale Komponente zur Wärmeableitung spielen Heizkörper für elektronische Produkte eine immer wichtigere Rolle in der Anwendung von elektronischen Produkten. Nach öffentlichen Literaturerhebungen ist das Wärmemanagement elektronischer Produkte ein 10-Milliarden-Dollar-Markt und ein potenzieller Nutznießer dieser Technologie.

Und der 3D-Druck wird eine wichtige Rolle bei der Förderung der Komplexität der Heizkörperstruktur spielen. Der Einsatz des 3D-Drucks bei der Herstellung von Heizkörpern oder Wärmetauschern entspricht dem Entwicklungstrend von Produkten, die dazu tendieren, kompakt, effizient, modular und aus mehreren Materialien zu sein. Er wird insbesondere für die Bearbeitung von Sonderformen, integrierten Strukturen, dünnen Wänden, dünnen Rippen, Mikrokanälen, sehr komplexen Formen, Gitterstrukturen usw. eingesetzt. Der 3D-Druck hat Vorteile, die die traditionelle Fertigungstechnologie nicht hat.

Es gibt mehr als 100.000 Komponenten in der Lithographie-Maschine. Jedes von ihnen ist relativ klein, und von der Implementierung bis zum Produktionsbetrieb können Tausende von Einzelteilen erforderlich sein. Dies ist ein komplexes System, das eine relativ geringe Anzahl von großen Lieferketten von Zulieferern enthält. Daher wurde an fast allen Positionen innerhalb der Lithografie-Maschine eine Kompromisslösung entworfen.

In vielen Fällen kann die 3D-Druck-additive Fertigung diese Systeme näher an die theoretisch zu erwartende Arbeitsumgebung heranführen, anstatt Kompromisse beim Maschinenbetrieb einzugehen. Zu den direkten Vorteilen des 3D-Drucks gehören eine höhere Präzision, eine höhere Produktionskapazität, schnellere Zykluszeiten und sogar, dass jede Maschine mehr Wafer pro Woche produzieren kann. In einigen Fällen werden Sie auch eine höhere Abbildungsqualität des gesamten Wafers sehen. Dies bedeutet weniger Abfall und qualitativ hochwertigere Produkte.

Konformer Kanal

In der Lithografiemaschine gibt es viele verzweigte Flüssigkeitsleitungen, und die 3D-Druck-additive Fertigung ist viel besser in der Lage, Teile mit konformen oder internen Kühlstrukturen zu produzieren, um eine bessere Dynamik der Flüssigkeitsverzweigungen zu erreichen. Konstrukteure müssen keine Kompromisse mehr beim Design eingehen, um sich an die Fertigungstechnologie anzupassen. Bei der Lithografie-Maschine kann der Konstrukteur die bisher verwendeten Verbindungen verschiedener Rohre eliminieren.

Durch die additive Fertigung ist es möglich, ein komplexeres Fluidverteiler- oder Kühlstrukturdesign zu erstellen, das die Funktionen in den Vordergrund stellt, ohne Kompromisse wie bei traditionellen Designs eingehen zu müssen. Am Ende wird ein glatter Kanal oder ein Kanal ohne rechtwinklige Biegungen erhalten, um die dynamische Leistung zu verbessern.

Traditionell werden die Verstellplatte und der Kühltisch hartgelötet. Mehrere Teile werden zusammengelötet, um eine einzige Baugruppe zu erstellen. Der Vorteil, den die additive Fertigung hier bietet, ist, dass es möglich ist, strukturell integrierte Teile zu entwerfen, wodurch die Anzahl der Teile reduziert und das Löten ersetzt wird

Durch die 3D-Druck-additive Fertigungstechnologie können all diese Schritte jedoch entfallen. Insbesondere bei Komponenten, die eine strukturelle Integration erreichen, können neue Designkonzepte schnell iteriert werden, wodurch die Kosten und die Zeit für die Neubestellung verschiedener Teile eingespart werden, wodurch die Konstrukteure schneller zu idealen Funktionsvorteilen gelangen.

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