Neues aus der Industrie

Der sichere Umgang mit Spezialgasen ist ein Grundpfeiler moderner Hightech-Fertigung, insbesondere in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Zu den anspruchsvollsten Gasen zählen hochgiftige und pyrophore Gase wie Phosphin (PH₃), das in Dotierungs- und Abscheidungsprozessen eingesetzt wird. Herkömmliche Druckregler sind für solche Medien oft unzureichend, da selbst k...

Der Umgang mit wasserfreiem Fluorwasserstoff (HF) stellt eine der größten Herausforderungen in der Halbleiterfertigung, der chemischen Synthese und der Herstellung von Spezialglas dar. Als hochgiftige, korrosive und reaktive Verbindung erfordert HF nicht nur Vorsicht, sondern höchste Ingenieurskunst bei den Komponenten für die Fluidhandhabung. Kernstück jedes sicheren un...

In der präzisionsgetriebenen Welt der Halbleiterfertigung, der Materialwissenschaft und der Spitzenforschung ist die kontinuierliche Prozessgasversorgung nicht nur eine Frage der Bequemlichkeit, sondern eine absolute Notwendigkeit. Jede noch so kurze Unterbrechung kann katastrophale Folgen haben: zerstörte Waferchargen, beeinträchtigte Dünnschichtabscheidungen, ungültige...

Im Bereich der industriellen Gashandhabung sind Präzision und Reinheit von höchster Bedeutung, insbesondere bei Spezialgasen für Hightech-Anwendungen. Einstufige Druckregler für ultrareine (UHP) Spezialgase sind daher unerlässlich, um die sichere, präzise und kontaminationsfreie Zufuhr dieser Gase zu gewährleisten. Diese Geräte sind so konstruiert, dass sie den Druck von...