Veröffentlicht am 10.09.2026
Hochreinheits-Gaszylinderschrank für Halbleitergasversorgungssysteme
Hochreine Gase sind für die moderne Halbleiterfertigung unerlässlich. Prozesse wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die Atomlagenabscheidung (ALD), das Ätzen, die Ionenimplantation, die Oxidation und die Kammerreinigung benötigen präzise kontrollierte Prozessgase. Viele dieser Gase werden aus Hochdruckflaschen geliefert und können toxisch, korrosiv, entzündlich,...