Veröffentlicht am 21.08.2026
Hochreiner Gasregler in Halbleiterqualität für die Prozessgassteuerung
Hochreine Gase (UHP) sind für die moderne Halbleiterfertigung unerlässlich. Prozessgase wie Stickstoff (N₂), Argon (Ar), Wasserstoff (H₂), Sauerstoff (O₂), Kohlendioxid (CO₂) und verschiedene Spezialgase werden während der gesamten Waferherstellung eingesetzt, einschließlich Abscheidung, Ätzen, Ionenimplantation, Reinigung, Dotierung und Kammerspülung. Da Halbleiterproze...