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In der anspruchsvollen Welt der Halbleiterfertigung, der Photovoltaikproduktion und der Materialwissenschaft ist Silan (SiH₄) ein unverzichtbares Vorläufergas. Seine Eignung zur Abscheidung hochreiner Siliziumschichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) ist unübertroffen. Aufgrund seiner extremen Pyrophorität – es entzündet sich spontan bei Kontakt mit Luft – ...
Im Bereich der Gashandhabung und -verteilung sind Druckregler für ultrahochreine (UHP) Gase unverzichtbare Komponenten für die sichere, präzise und kontaminationsfreie Gasversorgung. Diese Spezialgeräte sind für Gase mit Reinheitsgraden von über 99.999 % (Reinheitsgrad 5.0) und oft sogar 99.9999 % (Reinheitsgrad 6.0) oder höher ausgelegt. Sie spielen eine zentrale Rolle ...
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